空氣凈化技術：多晶硅尾氣回收各主要成分的體積分數分別為，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。多晶硅尾氣均為可回收的產品或可循環使用的原料。對尾氣進行有效的治理，不僅可以提高原料的利用率，還可以降低三廢的排放量。為了合理治理尾氣，必須根據尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當的工藝流程和技術條件。

利用以上幾種組份的沸點差異、溶解度差異和在吸附劑上附著能力的差異，可以將以上幾種組份完全分開。以下兩種工藝技術處理多晶硅尾氣：

1、冷凝吸附法

多晶硅尾氣進入冷凝分離系統，增壓后的合成氣被降溫，氯硅烷和氯化氫被分離出來，然后通過精餾將氯化氫和氫氣分離，氫氣進入吸附精制系統，得到高純度的精制氫氣。

冷凝分離系統由制冷壓縮機組、精餾塔和泵組成，吸附精制系統由吸附塔、加熱器和冷卻器組成。

2、變壓吸附法

變壓吸附系統由吸附塔、換熱器和緩沖罐和組成。任意時刻都有吸附塔處于吸附狀態，其余處于再生狀態。通過氫氣、氯化氫、氯硅烷在吸附劑表面上吸附能力的差異，將氫氣、三氯氫硅、氯化氫分離開。吸附劑通過升溫和降壓的方式得到再生。再生結束，吸附塔又重新具備處理三氯氫硅尾氣并生產氫氣的能力。

經過這一系列過程后吸附塔便完成了一個完整的“吸附-再生”循環，又為下一次吸附做好了準備。各吸附塔交替進行吸附、再生，即可實現氣體的連續分離與提純。

以上就是關于“多晶硅尾氣回收：氣體分離技術”的相關內容。